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  • acoustic sensor

    • 英 [əˈku:stik ˈsensə]
    • 美 [əˈkustɪk ˈsɛnsɚ]

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    • 声敏元件

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    A capacitive micro - acoustic sensor with a polysilicon film as diaphragm was designed in this paper.

    设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器.

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      声敏感器   

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